1. 伺服电机速度反馈
Z轴抖动，也可能是爬行，看Z轴导轨润滑情况。把轨润时间缩短一些。
如果是伺服电机增益过高，可以减低伺服增益值。伺服系统增益过高会带来共振，产生巨大的噪声，造成电机剧烈的震动。过高的增益还会带来超速，过载，过流等等的问题。
以电机运动后没有异常声响不抖为准，伺服增益值越大越好。
在FANUC系统中可以调节以下参数来消除由于参数设置不当引起的振动：
fanuc系统参数1825一般设5000左右.
pa.2021(负载惯量），pa.2044（加速度比例增益），pa.2066(加速度反馈增益）。
2. 伺服电机响应速度
1、位置比例增益
设定位置环调节器的比例增益；设置值越大，增益越高，刚度越大，相同频率指令脉冲条件下，位置滞后量越小。但数值太大可能会引起振荡或超调；参数数值由具体的伺服系统型号和负载情况确定。
2、位置前馈增益
设定位置环的前馈增益；设定值越大时，表示在任何频率的指令脉冲下，位置滞后量越小；位置环的前馈增益大，控制系统的高速响应特性提高，但会使系统的位置不稳定，容易产生振荡；不需要很高的响应特性时，本参数通常设为0表示范围：0~100%。
3、速度比例增益
设定速度调节器的比例增益；设置值越大，增益越高，刚度越大。参数数值根据具体的伺服驱动系统型号和负载值情况确定。一般情况下，负载惯量越大，设定值越大；在系统不产生振荡的条件下，尽量设定较大的值。
4、速度积分时间常数
设定速度调节器的积分时间常数；设置值越小，积分速度越快。参数数值根据具体的伺服驱动系统型号和负载情况确定。一般情况下，负载惯量越大，设定值越大；在系统不产生振荡的条件下，尽量设定较小的值。
5、速度反馈滤波因子
设定速度反馈低通滤波器特性；数值越大，截止频率越低，电机产生的噪音越小。如果负载惯量很大，可以适当减小设定值。数值太大，造成响应变慢，可能会引起振荡；数值越小，截止频率越高，速度反馈响应越快。如果需要较高的速度响应，可以适当减小设定值。
6、最大输出转矩设置
设置伺服电机的内部转矩限制值；设置值是额定转矩的百分比；任何时候，这个限制都有效定位完成范围；设定位置控制方式下定位完成脉冲范围。
本参数提供了位置控制方式下驱动器判断是否完成定位的依据，当位置偏差计数器内的剩余脉冲数小于或等于本参数设定值时，驱动器认为定位已完成，到位开关信号为 ON，否则为OFF；在位置控制方式时，输出位置定位完成信号，加减速时间常数。
3. 伺服电机速度前馈
1、位置比例增益
设定位置环调节器的比例增益；设置值越大，增益越高，刚度越大，相同频率指令脉冲条件下，位置滞后量越小。但数值太大可能会引起振荡或超调；参数数值由具体的伺服系统型号和负载情况确定。
2、位置前馈增益
设定位置环的前馈增益；设定值越大时，表示在任何频率的指令脉冲下，位置滞后量越小；位置环的前馈增益大，控制系统的高速响应特性提高，但会使系统的位置不稳定，容易产生振荡；不需要很高的响应特性时，本参数通常设为0表示范围：0~100%。
3、速度比例增益
设定速度调节器的比例增益；设置值越大，增益越高，刚度越大。参数数值根据具体的伺服驱动系统型号和负载值情况确定。一般情况下，负载惯量越大，设定值越大；在系统不产生振荡的条件下，尽量设定较大的值。
4、速度积分时间常数
设定速度调节器的积分时间常数；设置值越小，积分速度越快。参数数值根据具体的伺服驱动系统型号和负载情况确定。一般情况下，负载惯量越大，设定值越大；在系统不产生振荡的条件下，尽量设定较小的值。
5、速度反馈滤波因子
设定速度反馈低通滤波器特性；数值越大，截止频率越低，电机产生的噪音越小。如果负载惯量很大，可以适当减小设定值。数值太大，造成响应变慢，可能会引起振荡；数值越小，截止频率越高，速度反馈响应越快。如果需要较高的速度响应，可以适当减小设定值。
6、最大输出转矩设置
设置伺服电机的内部转矩限制值；设置值是额定转矩的百分比；任何时候，这个限制都有效定位完成范围；设定位置控制方式下定位完成脉冲范围。
本参数提供了位置控制方式下驱动器判断是否完成定位的依据，当位置偏差计数器内的剩余脉冲数小于或等于本参数设定值时，驱动器认为定位已完成，到位开关信号为 ON，否则为OFF；在位置控制方式时，输出位置定位完成信号，加减速时间常数。
设置值表示电机从0~2000r/min的加速时间或从2000~0r/min的减速时间；加减速特性是线性的到达速度范围；设置到达速度；在非位置控制方式下，如果电机速度超过本设定值，则速度到达开关信号为ON，否则为OFF；在位置控制方式下，不用此参数；与旋转方向无关。
4. 伺服电机速度反馈值波动
引起运转时快时慢的原因主要有以下几点：1、伺服驱动器主要参数调节不当，调节控制器未达到良好工作状态。2、因为干挠、连接不当造成的速度反馈数据信号不平稳。3、测速发电机安裝不当，或测速发电机与电机轴的连接不当。4、交流伺服电机的电机碳刷损坏。5、电枢绕组部分短路故障或对地短路故障。6、速度给定键入电压遭受干挠或连接欠佳。
5. 伺服电机 加速度
伺服电机从静止加速到工作转速(一般为每分钟几百转)需要200～400毫秒。伺服电机从静止加速到其额定转速3000RPM仅需几毫秒，可用于要求快速启停的控制场合。
当伺服电机驱动器接收到一个脉冲信号，它就驱动伺服电机按设定的方向转动一个固定的角度，称为“步距角”，它的旋转是以固定的角度一步一步运行的。可以通过控制脉冲个数来控制角位移量，从而达到准确定位的目的。
6. 伺服电机速度反馈异常
伺服电机编码器坏了会影响速度
1.机械振荡(加/减速时)
引发此类故障的常见原因有：
①脉冲编码器出现故障。此时应检查速度检测单元反馈线端子上的电压是否在某几点电压下降，如有下降表明脉冲编码器不良，更换编码器;
②脉冲编码器十字联轴节可能损坏，导致轴转速与检测到的速度不同步，更换联轴节;
③测速发电机出现故障。修复，更换测速机。维修实践中，测速机电刷磨损、卡阻故障较多，此时应拆下测速机的电刷，用纲砂纸打磨几下，同时清扫换向器的污垢，伺服电机再重新装好