一、世界上顶级光刻机精度是多少
光刻机主要是拿来曝光光刻胶，光刻胶分 positive 和 negative，与纂刻里的阳文阴文一个意思。如果是 positive photoresist，那就是光照到哪，哪就不结实，就能被 developer 冲刷掉。受到照射的光刻胶结不结实主要取决于光刻胶的对比度和入射光量（dose）。
横轴为 dose，纵轴为经过曝光和 develop 之后的剩余光刻胶厚度。我们可以看到在 [公式] 位置，虽然光刻胶受到了光照，但是厚度基本没怎么变。只有 dose 超过 [公式] 才能让光刻胶完全被除去。相同的道理，如果我们能精确控制照哪，照多久，那就可以造出一些低于光波长的结构来。
二、世界上精度最高的光刻机
半导体加工设备
基本被日本，美国霸占。
目前蚀刻设备精度最高的是日立。比如东丽，帝人的炭纤维，超高精密仪器，数控机床，光栅刻画机(这个最牛的也是日立，刻画精度达到10000g/mm )，光刻机(ASML)等等，这些是美日严格限制出口的。
一个块CPU要制造出来，需要N多设备和材料。全球前十大半导体设备生产商中，有美国企业4家，日本企业5家。
半导体材料
生产半导体芯片需要19种必须的材料，缺一不可，且大多数材料具备极高的技术壁垒，因此半导体材料企业在半导体行业中占据着至关重要的地位。
而日本企业在硅晶圆、合成半导体晶圆、光罩、光刻胶、药业、靶材料、保护涂膜、引线架、陶瓷板、塑料板、TAB、COF、焊线、封装材料等14中重要材料方面均占有50%及以上的份额，日本半导体材料行业在全球范围内长期保持着绝对优势。全球70%的半导体硅材料，都是由日本信越化学提供。
超高精度机床
超高精度机床和材料学并为工业之母：日本，德国，瑞士的天下，其中日本更是领先世界一大截。
世界最高精度机床主轴来自日本精工。
美国F22猛禽战机就用日本机床：SNK(新日本工机)的5轴龙镗铣。
yamazaki mazak(日本山崎马扎克)被瑞典皇家科学院评出的世界最佳公司、英国本地最佳工厂兼出口成就奖、美国制造工程师学会惠特尼生产力奖获得者、美军US.ARMY岩岛兵工厂联合制造技术中心的机床供应商及机械师培训方、波音集团的最佳机床设备供应商等等。mazak最拿手的环节，当属machining center(加工中心)。
全球超精密加工领域中精度最高的母机，来自于日本捷太科特Jtket的AHN15-3D自由曲面金刚石加工机，此设备主要用来对各种光学镜头和蓝光镜片模具进行超精密车削及研磨。这台机子仅从加工精度上讲比三台军工神器(美国LLNL的LODTM和DTM-3， 英国CUPE的OAGM2500)还要高出近8倍。
全球70%的精密机床都搭载着由日本Metrol研制的世界最高精度的微米级全自动对刀仪。
全球唯一一台突破纳米级加工精度的慢走丝电火花加工机，来自日本sodick(沙迪克)，sodick将电火花式加工与水刀式加工结合成功开发出世界首台混合动力线切割放电加工机。
在任何尖端工业机械上都不可缺的传动部件，日本HDS的高精密、大扭矩、轻量化、回力小的谐波减速机在全球拥有4成以上份额，NASA、空客、蔡司外科手术镜等都是靠它来传递反馈设备的停走、动力转向、精度定位。
三、最精确的光刻机
东方晶源不制造光刻机。
东方晶源并不是制造光刻机的企业，也不是使用光刻机代工的企业。东方晶源是为芯片制造工厂提供技术服务的。比如东方晶源旗下电子束缺陷检测产品（EBI），应用电子束扫描技术对硅片表面进行高分辨率成像，以提高良品率。比如（OPC）技术，可以对光刻制程精确建模，优化工艺窗口，确保良品率。制造关键尺寸检测设备（CD-SEM），通过电子束显微图像进行关键尺寸测量。
四、全球光刻机最高水平几纳米
目前最先进的光刻机是由荷兰阿斯麦公司生产的七纳米光刻机，但是阿斯麦公司的七纳米光刻机非常珍贵，很难购买。
五、世界上最先进的光刻机是多少级别的
1、大族激光（002008），最新股价39.35元，总市值419.89亿：2021年6月17日公司在互动平台称：公司在研光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，今年有望实现小批量销售。
2、张江高科（600895），最新股价16.40元，总市值253.99亿：2021年3月，公司在互动平台表示，上海张江浩成创业投资有限公司2021年投资了上海微电子装备有限公司22，345万元，投资比例为10.779%。
3、晶方科技（603005），最新股价55.50元，总市值188.34亿：2021年6月，公司在互动平台表示，荷兰光刻机制造商ASML为公司参与并购的荷兰Anteryon公司的最主要客户之一。Anteryon为全球同时拥有混合镜头、晶圆级微型光学器件工艺技术设计、特性材料及量产能力的技术创新公司，其产品可广泛应用于半导体精密设备、工业自动化、汽车、安防、3D传感器为代表的消费类电子等应用领域。