1. 光刻机产业链上市公司
euv光刻机目前为止仅有一类。
euv光刻机目前只有荷兰阿斯麦尔一家能够生产，所以无法分类。EUV光刻机中的EUV指的是是波长13.5nm的极紫外光，普通的DUV光刻机使用的是193nm的深紫外光，EUV光刻机可以大幅提升半导体工艺水平，实现7nm及以下工艺，更重要的，这是半导体摩尔定律能延续下去的基础，当下摩尔定律并不是芯片设计的问题，纯粹是材料工艺度不达标，阿斯麦尔能够提供更精密的设备，在产业链中属于最上游。
2. 光刻机龙头企业上市公司
质量好，光刻机是芯片制造的核心设备之一，按照用途可以分为好几种：有用于生产芯片的光刻机；有用于封装的光刻机；还有用于LED制造领域的投影光刻机。用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板。
光刻机被称为“人类最精密复杂的机器”，该领域的龙头老大是荷兰ASML，并已经垄断了高端光刻机市场。荷兰ASML公司EUV光刻机售价高达1亿美元，而且只有ASML能够生产。
相比之下，中国最好的光刻机厂商上海微电子装备有限公司（SMEE）已经量产的光刻机中，性能最好的SSA600/20工艺只能达到90nm，相当于2004年上市的奔腾四CPU的水准。而国外的先进水平已经达到了7纳米，正因如此，国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。
3. 光刻机产业链上市公司排名
世界最好的光刻机制程是荷兰的ASML
1、原因一：荷兰的ASML公司并不是一家白手起家的公司，而是从著名电子制造商飞利浦，独立出来的一个公 司，背后肯定有相关的人员，经济上的资助。
2、原因二：ASML的光刻机中超过90%的零件都是向外采购的，这与他原来的对手，尼康和佳能是完全不同的。正是因为这样的政策，使得他们能够在整个设备的不同部位同时获得世界上最先进的技术，而他们自身也可以腾出手来在部件整合和客户需求上做文章。
从而在日新月异的芯片制造行业取得竞争优势，而这种高新技术行业马太效应特别明显，一旦有一点差距，很快就会迅速拉大。
3、原因三：“对核心技术的掌握”，最先进的EUV光刻技术，ASML拥有世界第二的专利申请量，说明即便是广泛地外包零件，他们依然对核心技术有着不懈的追求。
扩
4. 光刻机制造上市公司
国内的上市公司真正有在接触光刻机这一块的只有两家。
智光电气：智光电气在互动平台上表示，参股公司粤芯半导体采购的荷兰ASML光刻机，已于2019年3月中旬搬进粤芯半导体主厂房，目前在做量产前的最后调试准备。
胜利精密：披露非公开发行股票预案，募集资金拟用于智能制造生产研发基地建设项目、光刻机产业化项目及补充流动资金。
5. 光刻机零件供应商上市公司
不具备。光刻机是用来制造芯片的。光刻机又被称为掩模对准曝光机或者曝光系统、光刻系统等。光刻机是用来制造芯片的核心装备之一。光刻机是一种采用类似于照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形经过光线的曝光印制到硅片上的装备。不具备的原因是：1、技术上壁垒高。2、时间周期长。
3、更换供应商成本太高。
买到一台机器和用好机器是两码事。ASML极紫外（EUV）光刻机每台售价达到1.2亿美元，重达180吨，零件超过10万个，运输时能装满40个集装箱，安装调试时间超过一年。除此之外，磨合与提高良率都需要时间堆砌，只要没有大的技术变革，厂商们不可能轻易放弃ASML当其他厂商的小白鼠的。
台积电（占据全球晶圆代工的大半壁江山）、三星、英特尔、格罗方德包括国内的中芯国际都是ASML的客户，其中三星、英特尔、格罗方德还是ASML的股东，三大巨头转投其他家的可能不大。