一、世界顶尖光刻机精度
国产光刻机精度只有90nm。
作为制造强国，我国许多行业对于90nm及以下制程的芯片，有着广泛的需求。电视机、智能家电、功能手机、智能机械设备等，都需要用到精度不高芯片。这些行业的巨量需求，要求国产90nm光刻机，必须存在。唯有这样，才能更好的满足，我国低端芯片用户的需求，不用跑到外国花费更多的钱去进口。
二、精度最高的光刻机
来源是荷兰阿斯麦尔公司的光刻机。
中芯国际14nm光刻机的来源是荷兰阿斯麦尔公司。准确点说并不是14纳米，而是28纳米光刻机，14纳米是中芯国际的量产芯片制程，而不是光刻机的精度。作为duv光刻机最高也就是28/22纳米精度。荷兰阿斯麦尔光刻机目前几乎处于全球垄断地位，市场占有率高于90%，中芯国际的光刻机也是荷兰阿斯麦尔公司的。
三、全球最好的光刻机
分别是荷兰阿斯麦尔、日本尼康和佳能、中国上海微电子。
目前世界上能够制造光刻机的公司只有四家，并没有十大光刻机公司。四大光刻机公司分别是可以制造高端euv极紫外光光源光刻机的荷兰阿斯麦尔公司，该公司能够制造euv和duv光刻机。日本的尼康和佳能可以制造duv光刻机。中国上海微电子也是制造duv光刻机。
四、中国最精密的光刻机
可以制造国产光刻机的只有一家，即上海微电子。目前全球只有四家能够制造光刻机的公司，分别是荷兰阿斯麦尔、日本尼康和佳能、上海微电子。上海微电子可以制造90纳米光刻机，28纳米光刻机项目已经进入最后阶段。
五、世界最高精度光刻机
蔡司光刻机镜头最主要的是打磨。拥有高数值孔径的光学镜头是决定光刻机的分辨率和阈值误差能力。而分辨率和套值误差能力对于一台光刻机具有至关重要的重要性。而世界上最为先进的EUV极紫外光刻机唯一可以使用的镜头就是由蔡司公司生产的镜头。蔡司光刻机中每一块透镜的位置误差都必须小于1nm，同时还要能尽量消除光损失产生的热量。
在工艺方面，光刻机所要求的镜面光洁度非常高，需要采用精度最高的打磨机和最细的镜头磨料，还需要顶级的计算机数控光学表面成形技术（CCOS）相关的技术工人。在光学镜头的生产工序中，仅CCOS的抛光一项，就有小磨头抛光、应力盘抛光、磁流变抛光、离子束抛光等超精密抛光等高难度工序，若想达成实属不易。