一、光刻机售价昂贵原因
euv光刻机大约180吨重。
一台EUV光刻机的重量大概在180吨，光内部零件就多达8万余件，如果算上外部零件的话，能够装满40个标准集装箱，而且这些零部件都是极其复杂的，绝非几个螺丝那样简单。因为生产难度极高、体积巨大、零件众多等原因，EUV光刻机的价格也是相当的昂贵，一台光刻机的价格就高达1.48亿欧元，折合人民币约11.7亿。但即便如此，依然被三星、台积电等公司抢着买。
二、光刻机为什么这么贵
世界上最先进的5nm光刻机来自荷兰的ASML，这也是唯一一家可以提供最先进极紫外光刻机的厂商。
这光刻机的单价达到1.6亿欧元一台。
极紫外光刻（Extreme Ultra-violet），常称作EUV光刻，它以波长为10-14纳米的极紫外光作为光源的光刻技术。具体为采用波长为13.4nm 的紫外线。极紫外线就是指需要通过通电激发紫外线管的K极然后放射出紫外线。
光刻技术是现代集成电路设计上一个最大的瓶颈。现cpu使用的45nm、32nm工艺都是由193nm液浸式光刻系统来实现的，但是因受到波长的影响还在这个技术上有所突破是十分困难的，但是如采用EUV光刻技术就会很好的解决此问题，很可能会使该领域带来一次飞跃。
三、光刻机值钱吗
世界上最好的光刻机不是来自美国，韩国，英国、日本等这些芯片强国，而是来自荷兰。
光刻机是生产大规模集成电路的核心设备，是制造和维护光学和电子工业的基础。光刻机技术目前是世界上最尖端的技术之一，只有少量国家掌握，所以光刻机的价格是非常昂贵的，世界上顶级光刻机就是荷兰生产组装的光刻机，一台高端的光刻机甚至可以卖到6亿元左右（目前全球最贵的EUV光刻机单台售价已经超过6.3亿元），即便卖这么贵还供不应求，很多订单都需要排队生产，甚至有部分国家给再多的钱也买不到。
世界上最顶尖的光刻机
现在世界上最先进的光刻机是荷兰的ASML，其次就是日本的NIKON和日本的CANON，这三个品牌是世界上最好的了，荷兰的最好，因为荷兰的是各国高科技的合成产品，最主要的光源和镜头来自德国，荷兰的光刻机90%的零配件是全世界采购，一台光刻机的配件超过五万的零件，90%的配件来自全世界，也就是说约四万五千个零件来自世界各地。
目前在全球45纳米以下高端光刻机市场当中，荷兰ASML市场占有率达到80%以上，而且目前ASML是全球唯一能够达到7纳米精度光刻机的提供商，所以ASML才是全球芯片业真正的超级霸主一点都不过分。正因为得益于技术领先，目前ASML的市场份额也是很大的，目前全球知名芯片厂商包括英特尔、三星、台积电、SK海力士、联电、格芯、中芯国际、华虹宏力、华力微等等全球一线公司都是ASML的客户
四、光刻机卖吗
值得买
不过上海新阳公司终于买到了三台光刻机，他们买到的光刻机型号为ASML-1400，虽然是二手机器，但也花费了高达1亿元。有人质疑，花这么多钱买了二手货，值得吗？
值得一提的是，这些光刻机将被用于ArF（干式）干法光刻胶的研发。
也就是说，这三台光刻机并非直接用于芯片制造，而是用于先进光刻胶验证，但其实这个环节也非常重要！因为光刻胶是芯片制造过程中，必不可少的尖端材料，对高精密度芯片的生产有着重大作用。
五、比光刻机更贵的设备
光刻机比蚀刻机贵的最大原因肯定是成本高。
阿斯麦尔的极紫外光光刻机大约有十万个零部件，重达180吨，就连组装调试都要按年算。而最先进的中微半导体生产的蚀刻机就要轻很多，仅几吨重。一个负责非常复杂的雕刻，另一个负责冲洗，就技术含量来说也相差很大，所以价格上阿斯麦尔高端光刻机卖十亿多，而蚀刻机卖两千万。
六、光刻机售价昂贵原因分析
光刻机不是无价之宝，但是价格非常昂贵。
光刻机最高端的是荷兰阿斯麦尔生产的euv光刻机，此光刻机全球仅阿斯麦尔一家能够生产，中低端光刻机全球有三家能够生产，分别是中国上海微电子及日本尼康佳能。高端光刻机零部件差不多十万个，重量达到一百八十吨，其售价为超过1.2亿欧元，而且还不是想买就能买到。