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光刻机有多少台(光刻机还有什么机)

来源:www.haichao.net  时间:2023-01-19 15:26   点击:185  编辑:admin   手机版

1. 光刻机还有什么机

光刻机就是光刻设备。

光刻设备不仅仅是光刻机,包括芯片制造上游的光刻机、刻蚀机、离子注入机子都是核心的设备。还有晶圆生产、切割、涂膜,晶圆测试设备,以及在芯片加工完成后的封装设备。还有像什么显影机、甩胶机、氧化炉、清洗机、外延炉、CVD设备、溅射台等设备。光刻机只是整个工艺链条中最重要的设备,但完成一颗芯片的制造需要很多设备一起工作。

2. 光刻机有几个

光刻机分G线、I线、KrF、ArF和EUV几个等级,每个级别的光刻机需要不同分辨率的光刻胶,其中KrF、ArF和EUV光刻胶属于高端产品,技术要求特别高。日本企业经过长期的技术积累和资金投入,实力雄厚,拥有多家巨头企业,基本一统天下,无人能与之争锋。

3. 光刻机还有什么机器

光刻系统,它是芯片制造核心中的核心,光刻是半导体芯片生产流程中最复杂、最关键的工艺步骤,耗时长、成本高。半导体芯片生产的难点和关键点在于将电路图从掩模上转移至硅片上,这一过程通过光刻来实现,光刻的工艺水平直接决定芯片的制程水平和性能水平。

高端光刻机堪称现代光学工业之花,其制造难度非常大,现在ASML的最先进的EUV极紫外线光刻机已经能够制造5nm制程的芯片了,单台光刻机的售价已经超过了1亿美元,中国完全自主生产的光刻机目前只能达到90nm制程,差了一大截。

光刻机的研制到底难在哪?光刻机涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密物料传输、高精度微环境控制等多项先进技术,是所有半导体制造设备中技术含量最高的设备。

ASML为能够在整个设备的不同部位同时获得世界上最先进的技术,ASML的光刻机中超过90%的零件都是向外采购的,ASML在技术研发方面汇聚了世界最前沿最顶尖的科技,比如德国的机械工艺、德国顶级的蔡司镜头、美国的光源和计量设备等,可以说ASML的高端光刻机是“集人类智慧大成的产物”。

4. 光刻机是什么机器

是由十几个国家一起发明的光刻机

光刻机是一套非常复杂的光电、机械、化学等综合学科的电子系统。其中主要零部件由十几个国家一起发明,比如美国symer光源,德国通快激光器,德国蔡司光学系统,英国爱德华真空系统,德国berliner glas静电吸盘等。如果以光刻机发明专利来说,德国蔡司、韩国海力士三星、日本尼康佳能富士信越、美国英特尔等提供了核心专利。基本上光刻机是由欧美十几个国家发明的。

5. 除了光刻机还有什么机

第一,五轴联动叶片加工中心

就其重要性而言,五轴联动叶片加工中心一点不亚于芯片制造的光刻机,因为这台设备是用来加工航空发动机,汽轮机,鼓风机的核心部件-叶片。叶片是航发的关键零件,外形和内腔复杂,承受1700摄氏度的高温,并且大量使用钛合金等高强度的复合材料,加工难度之大可想而知。

目前我国高端的五轴联动叶片加工中心依赖进口,包括在国防领域,我国就引进了瑞士斯达拉格公司的产品。当然作为这一领域的佼佼者,包括美国的F35战机也在使用斯达拉格机床。除了瑞士企业,这种设备的主要生产国还包括德国(哈米勒),意大利(法拉利)等。

第二,工业机器人减速器

减速器是工业机器人(关节)的核心零部件之一,能生产工业机器人的国家很多,但是精密减速器却主要掌握在日本企业手中,在这一领域有两家企业,一个是纳博特斯克,主要生产RV减速器;一个是哈默纳科,以谐波减速器为主。RV减速器一般主要拥有基座,肩部等负载重部位,而谐波减速器主要用于小臂,腕部等部位。

第三,半导体设备

提到半导体设备,大家首先会想到光刻机。而实际上半导体设备有非常多的种类,包括刻蚀机,薄膜设备,测试设备和清洗设备等,像全球最大的半导体设备企业美国应用材料公司生产除光刻机和清洗设备外几乎所有的半导体设备,而且这家企业在薄膜PVD设备领域一家独大,其地位并不比光刻机企业差。就整体市场价值而言,刻蚀机,光刻机,薄膜设备是价值最高的三大半导体设备。除光刻机外,美国企业在其它几种设备方面占据优势。

第四,10nm以下半导体制程

10nm以下半导体制程工艺对于大多数晶圆制造企业来说就是禁区,宣布停止研发更先进制程的企业不在少数。那么半导体制程工艺到底有多难?以5nm为例,光是工艺步骤就有1000个,并且每一个步骤的合格率要达到99.99%,而且工艺越先进,需要集成相关学科领域的技术就越多。目前掌握10nm以下工艺的企业仅有三家,包括台积电,三星电子和英特尔。

第五,大型高精度衍射光栅刻划机

光栅机是光学领域最重要的母机,被称为"精密机械之王"。光栅的主要作用在于光谱分析,通过它可以获得物质的成分信息,广泛应用于信息科学,物理学,天文以及军事等领域。举一个例子,油漆有不同的颜色,一般人能分辨出的变化可能有几十种,而光栅则能分辨出超过上亿种颜色变化。目前能生产这一设备的只有美国,日本和中国等少数几个国家。

第六,重离子治疗设备

作为国际尖端的放射治疗技术,重离子治疗设备被誉为重大科学装置,全球最大最复杂的一台设备重达670吨。重离子治疗设备体积庞大(包括100多米长/60米宽的加速器),涉及到加速器,生物学,影像学,电子,核物理等众多前沿学科,被认为是最先进的肿瘤治疗系统。目前全球运营的(包括在建)医用重离子加速器仅有16台,大部分位于日本及欧洲。而重离子(含质子)治疗设备企业包括西门子,Varion,日本的东芝,三菱电机,住友,日立等。

第七,高端磁共振设备

也叫医用磁共振成像设备,主要用于血管造影,心脏病学检查等。目前高端磁共振设备主要掌握在美国通用,德国西门子,荷兰飞利浦三家企业手中。磁共振设备同样涉及到生物化学,IT技术,传感器,光学,流体力学等许多交叉学科,对磁场技术,射频技术,成像技术等有非常高的要求,是对一家企业的综合工业能力的考验,也正因为如此,该领域的主导企业大都是一些业务横跨多个行业的综合性工业巨头,其中被称为GPS的三大企业都是拥有百年以上历史。

第八,燃气轮机

主要应用于电力设备,工业,航母等领域,其工作原理类似航空发动机,正是由于其巨大的工业,军事价值,因此重型燃气轮机也被视为大国重器,像西门子的一台超级燃气轮机的发电量,可以满足一个中等城市的用电需求。目前该领域的三大企业分别是美国通用,德国西门子和日本三菱重工(如今的三菱电力)。重型燃气轮机的核心部件包括燃烧室,压气机,高温透平叶片。

第九,大推力军用涡扇发动机

相比民用发动机,掌握大推力的军用涡扇发动机技术的国家更少,就目前来看,也仅有美国,俄罗斯和中国。大推力军用涡扇发动机通常是小涵道比,加力推力超过10吨的涡轮风扇发动机,主要使用在重型战机,单发中型战机;而大涵道比发动机通常使用在运输机,轰炸机上,关系到国家的战略威慑力和民用航空的发展。美国最先进的F135发动机(配备于F35战机),最大推力在19-20吨,生产商为普惠发动机公司。俄罗斯主要的军用涡扇发动机企业包括土星公司等。

第十,超精密轴承/高端轴承

轴承的种类非常多,被称为"高端产品的关节",有航空航天领域的特种轴承,有用于精密机床主轴产品的超精密轴承(P4级以上),有重型机械用轴承,有高铁轴承,有半导体加工设备轴承等。作为一个基础性行业,轴承在很多高科技领域发挥着重要影响,像航空发动机的主轴承就是航发的关键部件之一,对精度,性能,寿命,可靠性有着极高要求。目前高端轴承生产企业主要集中在德国,美国,瑞典以及日本等国。

6. 光刻机还有什么机型

28nm光刻机能满足的手机制造的需求如下。

28nm光刻机属于中端光刻机机型,该类型光刻机可以通过多重蚀刻的方式生产接近7nm制程的芯片。就是苹果A12、麒麟980、高通865/855、三星Exynos9820、天玑1000等制程的芯片。虽然目前世面高端手机芯片是5纳米,但7纳米的手机性能也很强悍。

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