1. 立陶宛 光刻机
因为 一, GDP占比最高的服务业,信息和通信技术最具竞争力,世界上著名的一些公司都将业务外包给立陶宛的相关企业。要想把日子过好,核心竞争力真是非常重要。这里面要把产业氛围做好更为重要,因为这里面是就业的广度。
二,制造业中最厉害的是激光技术,连著名的光刻机巨头阿斯麦都要用他的激光技术。中国芯片要破局,高端光刻机必不可少。全球市场10%的科学激光仪,以及50%的飞秒激光仪,这就是实力的象征。从产业开启,到今天的核心竞争力坚如磐石,立陶宛激光技术发展了50多年。
三,最担心的是能源。2002年以前,8成用电来自于核电,在加入欧盟之后废除了核电厂。由于地缘的原因,在能源上挺依赖俄罗斯的。
2. 俄罗斯的光刻机
荷兰光刻机是阿斯麦尔公司制造的。
荷兰并不是发明光刻机的国家,荷兰阿斯麦尔公司是全球顶级光刻机制造商,所有零件来源于世界各地。荷兰ASML公司 目前该全称已经不作为公司标识使用,公司的注册标识为ASML Holding N.V),中文名称为阿斯麦尔(中国大陆)、艾司摩尔(中国台湾)。这是一家总部设在荷兰埃因霍芬的全球最大的半导体设备制造商之一,向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备。
准确来说是阿斯麦尔加入了光刻机联盟。美国能源部牵头和英特尔、摩托罗拉、AMD、IBM等企业一是成立EUV LLC联盟。押注极紫外光技术。这个联盟的相关企业制造了EUV光刻机的主要零部件,然后由阿斯麦尔负责整合组装及整机技术调试。
3. 欧盟光刻机
90年代前半期,光刻开始使用波长365nm i-line,后半期开始使用248nm的KrF激光。激光的可用波长就那么几个,00年代光刻开始使用193nm波长的DUV激光,这就是著名的ArF准分子激光,包括近视眼手术在内的多种应用都应用这种激光,相关激光发生器和光学镜片等都比较成熟。
但谁也没想到,光刻光源被卡在193nm无法进步长达20年。直到今天,我们用的所有手机电脑主芯片仍旧是193nm光源光刻出来的。
90年代末,科学家和产业界提出了各种超越193nm的方案,其中包括157nm F2激光,电子束投射(EPL),离子投射(IPL)、EUV(13.5nm)和X光,并形成了以下几大阵营:
157nmF2:每家都研究,但SVG和尼康离产品化最近。
157nm光会被现有193nm机器用的镜片吸收,光刻胶也要重新研制,所以改造难度极大,而对193nm的波长进步只有不到25%,研发投入产出比太低。ASML收购SVG后获取了反射技术,2003年终于出品了157nm机器,但错过时间窗口完败于低成本的浸入式193nm。
13.5nmEUV LLC:英特尔,AMD,摩托罗拉和美国能源部。ASML、英飞凌和Micron后来加入。
关于EUV,我放到后面在说吧。
1nm接近式X光:日本阵营(ASET, Mitsubishi, NEC, Toshiba, NTT)和 IBM
这算是个浪漫阵营吧,大家就没想过产业化的事
0.004nmEBDW或EPL: 朗讯Bell实验室,IBM,尼康。ASML和应用材料被邀请加入后又率先退出。
这是尼康和ASML对决的选择,尼康试图直接跨越到未来技术击败ASML,但可惜这个决战应该发生在2020年而不是2005年,尼康没有选错技术但是选错了时间。尼康最重要的技术盟友IBM在2001年也分心加入了EUV联盟。
0.00005nmIPL: 英飞凌、欧盟。ASML和莱卡等公司也有参与。
离子光刻从波长来看是最浪漫的,然而光刻分辨率不光由波长决定,还要看NA。人类现有科技可用离子光刻的光学系统NA是0.00001,比193nm的NA=0.5~1.5刚好差10万倍,优势被抵消了。
以上所有努力,几乎全部失败了。
它们败给了一个工程上最简单的解决办法,在晶圆光刻胶上方加1mm厚的水。水可以把193nm的光波长折射成134nm。
浸入式光刻成功翻越了157nm大关,直接做到半周期65nm。加上后来不断改进的高NA镜头、多光罩、FinFET、Pitch-split、波段灵敏的光刻胶等技术,浸入式193nm光刻机一直做到今天的7nm(苹果A12和华为麒麟980)。
2002年台积电的林本坚博士在一次研讨会上提出了浸入式193nm的方案,随后ASML在一年的时间内就开发出样机,充分证明了该方案的工程友好性。
随后,台积电也是第一家实现浸入式量产的公司,随后终于追上之前制程技术遥遥领先的英特尔,林博士因此获得了崇高的荣誉和各种奖项。
MIT的林肯实验室似乎不服气,他们认为自己在2001年就提出了这个浸入式方案。ASML似乎也没有在任何书面说明自己开发是受林博士启发。
其实油浸镜头改变折射率的方式由来已久,产业界争论是谁的想法在先从来不重要,行胜于言。林博士的贡献是台积电和ASML通力合作把想法变成了现实。
4. 欧洲光刻机
量子光刻机目前还仅是个名词,连概念都谈不上。
量子计算的能力在某些特定方面要超越目前的芯片计算能力几万亿倍,但目前人类也就能控制百个左右的量子,而且这种设备体型非常巨大,远远未达到能够走出实验室应用的地步。量子芯片还是个遥远的梦,更别说量子光刻机了。
5. 乌克兰有光刻机吗
《乌克兰租借法案》生效,意味着乌克兰军队将获得更多不同和高质量的武器,肯定会重新获得其所有领土。《乌克兰租借法案》的政治宣示意义,要大于实际军事意义。其实它的更大的作用,是向俄罗斯、向欧洲盟国,传递了美国坚决支持乌克兰直至胜利的强硬立场——美国国会和政府,利用历史上二战租借法案的巨大感召力,通过让人们联想起二战的伟大胜利,来唤起欧洲乃至全世界对乌克兰胜利的信心。
租借法案生效,传达了两点信息:
1、乌克兰将可以获得更多的武器,当然,400亿美元中,武器的占比并不高。
2、拜登所在的民主党,没有赢得中期选举的信心。
对美国这种霸权国家而言,无论哪个党派执政,都不会真正对俄友好,所以,如果俄罗斯在战场表现不佳,民主党和共和党都不会错过拖垮俄罗斯的千载难逢的好机会。