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半导体用纯水设备(半导体行业纯水要求)

来源:www.haichao.net  时间:2023-01-14 00:37   点击:195  编辑:admin   手机版

1. 半导体行业纯水要求

1因为. 制取电子工业生产如显像管玻壳、显像管、液晶显示器、线路板、计算机硬盘、集成电路芯片、单晶硅/多晶硅半导体、太阳能电池片等生产工艺所需的纯水、高纯水;

2. 制取热力、火力发电锅炉,厂矿企业中低压锅炉给水所需制品纯水、除盐水;

3. 制取医药工业所需的医用输液、注射剂、药剂、生化制品纯水、医用无菌水及人工肾透析用纯水;

4. 海水、井水苦咸水制取生活用水及饮用水

2. 半导体行业纯水要求高吗

纯水/超纯水主要应用在以下的领域:

1. 制取电子工业生产如显像管玻壳、显像管、液晶显示器、线路板、计算机硬盘、集成电路芯片、单晶硅/多晶硅半导体、太阳能电池片等生产工艺所需的纯水、高纯水;

2. 制取热力、火力发电锅炉,厂矿企业中低压锅炉给水所需制品纯水、除盐水;

3. 制取医药工业所需的医用输液、注射剂、药剂、生化制品纯水、医用无菌水及人工肾透析用纯水;

4. 海水、井水苦咸水制取生活用水及饮用水;

3. 半导体行业用水

根据台积电《2019年企业社会责任报告》数据,台积电在三大科学园区,竹科、中科和南科三个厂区的合计用水量每天要超过15万吨。这样的水量,如果全都用水车载水,每天要多少车次呢?是8,000车次。

我们以竹科厂区举例,厂区的台积电工厂每天的用水量达到了5.7万吨,占到了整个厂区的三分之一还多,如果一辆水车每趟能运水20吨,那也每天需要运水2,850车次。听上去是不可能完成的任务,对不对?而且如果产出5纳米,或是2纳米晶片,用水量还会更高,比如,台积电规划在竹科的2纳米新厂,计划每日用水量更高达12万吨,超过现有用水量的两倍。

保证良率清洗晶圆很关键

那么,晶圆生产,为什么要用这么多水呢?首先,我们先了解一个概念,晶圆良率,我们知道,每一片晶圆上,都同时制造数量很多的晶片,这些晶片中测试合格的晶片和整片晶圆上的有效晶片的比值就是这个晶圆良率。

关于,晶圆生产为什么用很多水,台积电的官网上是这样介绍的,半导体零配件的清洗成果对晶圆良率的影响非常大。零配件如果表面脆弱、或者是有细微分子残留,将会成为晶圆生产过程的污染源,尤其迈入高阶制程后,一些过去没有影响良率的细微分子,也因为制程线径缩小,成为影响品质的关键。

也就是说,半导体零配件的清洗要用到很多水,我们可以想像,如果这个水的纯净度不够,那很多非常细小的细微分子,可能没法清洗干净,就会影响到晶圆品质。

早在2013年时,台湾媒体就曾经介绍过,为了提高12吋晶圆厂的制程良率,以往是每25片晶圆集中清洗,后来就改成一片片单独清洗,大幅提高良率。

在去年12月时,台湾媒体的一篇报导中也提到了晶圆制程中的用水量,文章说,半导体生产过程,需要使用大量干净程度是自来水1,000倍的超纯水。而以往晶圆厂需要用上1,400到1,600加仑的自来水,才可能转化为1,000加仑的超纯水。如果在一片12吋晶圆上制造集成电路,需要使用大约2,200加仑的水,包括1,500加仑的超纯水,所以晶圆厂是「用水怪兽」。

根据2015年英特尔企业的报告,该公司一年的用水量高达90亿加仑,相当于75,000个美国家庭的正常用水量。不过到2017年,参考Intel的技术,转化出1,000加仑的超纯水已经仅用1,100加仑的自来水。与以往相比,节水量已经不小。

4. 半导体行业超纯水

指的是纯度极高的水,是超纯水。这是一种工业用水,集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外,其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。

5. 半导体行业纯水要求是多少

R=ρL/S,ρ是电阻率,除此以外电阻还和导体的长度L、横截面积S有关。 绝对纯水在25℃的理论值为18.3MΩ*CM,测定值与温度有关,温度越高,电阻率越低,反之越高

电阻率与导体的长度、横截面积等因素无关,是导体材料本身的电学性质,由导体的材料决定,且与温度、压力、磁场等外界因素有关。

电阻率在国际单位制中的单位是Ω·m,读作欧姆米,简称欧米。常用单位为“欧姆·厘米”。

扩展资料

电阻率较低的物质被称为导体,常见导体主要为金属,而自然界中导电性最佳的是银,其次为半导体,硅锗。当存在外电场时,金属的自由电子在运动中不断和晶格节点上做热振子的正离子相碰撞,使电子运动受到阻碍,因而就具有了一定的电阻。

其他不易导电的物质如玻璃、橡胶等,电阻率较高,一般称为绝缘体。介于导体和绝缘体之间的物质(如硅) 则称半导体。电阻率的科学符号为 ρ(Rho)。

已知物体的电阻,可由电阻率ρ、长度 l 与截面面积A 计算:ρ=RA/I,在该式中, 电阻R 单位为欧姆,长度 l 单位为米,截面面积 A 单位为平方米,电阻率 ρ单位为欧姆·米

6. 半导体超纯水设备

超纯水能喝,只是喝多了不好,因为超纯水里缺乏钾、钙、钠、镁等矿物质,喝多了会造成血液中矿物质的流失。所以对健康不利。

超纯水(Ultrapure water)又称UP水,是指电阻率达到18 MΩ*cm(25℃)的水。这种水中除了水分子外,几乎没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物,当然也没有人体所需的矿物质微量元素,也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。可以用于超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程 。

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